Esquema de aire de retorno secundario para o sistema de aire acondicionado

O taller microelectrónico cunha superficie de sala limpa relativamente pequena e un raio limitado de conduto de aire de retorno adoitaba adoptar o esquema de aire de retorno secundario do sistema de aire acondicionado. Este esquema tamén se usa habitualmente encuartos limposnoutras industrias como a farmacéutica e a asistencia médica. Debido a que o volume de ventilación para satisfacer os requisitos de humidade da temperatura da sala limpa é xeralmente moito menor que o volume de ventilación necesario para alcanzar o nivel de limpeza, polo tanto, a diferenza de temperatura entre o aire de subministración e o de retorno é pequena. Se se utiliza o esquema de aire de retorno primario, a diferenza de temperatura entre o punto de estado do aire de subministración e o punto de orballo da unidade de aire acondicionado é grande, é necesario un quentamento secundario, o que provoca unha compensación de calor fría no proceso de tratamento de aire e un maior consumo de enerxía. . Se se utiliza o esquema de aire de retorno secundario, pódese usar o aire de retorno secundario para substituír o quecemento secundario do esquema de aire de retorno primario. Aínda que o axuste da relación de aire de retorno primario e secundario é lixeiramente menos sensible que o axuste da calor secundaria, o esquema de aire de retorno secundario foi amplamente recoñecido como unha medida de aforro enerxético do aire acondicionado nos pequenos e medianos talleres de limpeza microelectrónica. .

Tome como exemplo un taller limpo de microelectrónica de clase ISO 6, a área limpa do taller de 1 000 m2, a altura do teito de 3 m. Os parámetros de deseño de interiores son a temperatura tn= (23±1) ℃, a humidade relativa φn=50%±5%; O volume de subministración de aire de deseño é de 171.000 m3/h, uns tempos de intercambio de aire de 57 h-1 e o volume de aire fresco é de 25.500 m3/h (dos cales o volume de aire de escape do proceso é de 21.000 m3/h, e o resto é de 21.000 m3/h). volume de aire de fuga de presión positiva). A carga de calor sensible no taller limpo é de 258 kW (258 W/m2), a relación calor/humidade do aire acondicionado é ε=35 000 kJ/kg e a diferenza de temperatura do aire de retorno da sala é de 4,5 ℃. Neste momento, o volume de aire de retorno primario de
Esta é actualmente a forma máis común de sistema de aire acondicionado de purificación na sala limpa da industria microelectrónica, este tipo de sistema pódese dividir principalmente en tres tipos: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (bobina seca) +FFU. Cada un ten as súas vantaxes e desvantaxes e lugares axeitados, o efecto de aforro de enerxía depende principalmente do rendemento do filtro e do ventilador e doutros equipos.

1) Sistema AHU+FFU.

Este tipo de modo de sistema úsase na industria da microelectrónica como "a forma de separar a fase de aire acondicionado e purificación". Pode haber dúas situacións: unha é que o sistema de aire acondicionado só trata o aire fresco, e o aire fresco tratado soporta toda a carga de calor e humidade da sala limpa e actúa como aire suplementario para equilibrar o aire de escape e as fugas de presión positiva. da sala limpa, este sistema tamén se denomina sistema MAU+FFU; A outra é que o volume de aire fresco por si só non é suficiente para satisfacer as necesidades de carga de frío e calor da sala limpa, ou porque o aire fresco se procesa desde o estado exterior ata a diferenza de entalpía específica do punto de orballo da máquina necesaria é demasiado grande. , e parte do aire interior (equivalente a un aire de retorno) devólvese á unidade de tratamento de aire acondicionado, mestúrase co aire fresco para o tratamento térmico e de humidade, e despois envíase ao pleno de subministración de aire. Mesturado co aire de retorno da sala limpa restante (equivalente ao aire de retorno secundario), entra na unidade FFU e despois envíao á sala limpa. De 1992 a 1994, o segundo autor deste artigo colaborou cunha empresa de Singapur e levou a máis de 10 estudantes de posgrao a participar no deseño da empresa conxunta EUA-Hong Kong SAE Electronics Factory, que adoptou este último tipo de aire acondicionado e purificación. sistema de ventilación. O proxecto conta cunha sala limpa ISO Clase 5 de aproximadamente 6.000 m2 (1.500 m2 dos cales foron contratados pola Axencia Atmosférica de Xapón). A sala de aire acondicionado está disposta paralela ao lado da sala limpa ao longo da parede exterior e só adxacente ao corredor. Os tubos de aire fresco, aire de escape e aire de retorno son curtos e están dispostos sen problemas.

2) Esquema MAU+AHU+FFU.

Esta solución atópase habitualmente en plantas de microelectrónica con múltiples requisitos de temperatura e humidade e grandes diferenzas na carga de calor e humidade, e o nivel de limpeza tamén é alto. No verán, o aire fresco é arrefriado e deshumidificado ata un punto de parámetro fixo. Normalmente é apropiado tratar o aire fresco ata o punto de intersección da liña de entalpía isométrica e a liña de humidade relativa do 95% da sala limpa con temperatura e humidade representativas ou a sala limpa con maior volume de aire fresco. O volume de aire de MAU determínase segundo as necesidades de cada sala limpa para repoñer o aire, e distribúese á UTA de cada sala limpa con tubos segundo o volume de aire fresco necesario, e mestúrase con algo de aire de retorno interior para obter calor. e tratamento da humidade. Esta unidade soporta toda a carga de calor e humidade e parte da nova carga de reumatismo da sala limpa á que serve. O aire tratado por cada UTA envíase ao pleno de aire de subministración de cada sala limpa e, tras a mestura secundaria co aire de retorno interior, é enviado á sala pola unidade FFU.

A principal vantaxe da solución MAU+AHU+FFU é que ademais de garantir a limpeza e a presión positiva, tamén garante as diferentes temperaturas e humidades relativas necesarias para a produción de cada proceso de sala limpa. Non obstante, moitas veces debido ao número de AHU configurados, ocupar a área da sala é grande, o aire fresco da sala limpa, o aire de retorno, as conducións de subministración de aire entrecruzadas, ocupan un gran espazo, o deseño é máis problemático, o mantemento e a xestión son máis difíciles. e complexo, polo tanto, sen requisitos especiais na medida do posible para evitar o uso.